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一文解讀:sem掃描電鏡的原理及其結(jié)構(gòu)組成

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  sem掃描電鏡的原理是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接收、放大和顯示成像,獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。
 
  sem掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成
 
  l、電子光學(xué)系統(tǒng)
 
  電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束,作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源。為獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和圖像分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
 
  2、電子槍
 
  其作用是利用陰極與陽(yáng)極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。掃描電子顯微鏡電子槍與透射電子顯微鏡的電子槍相似,只是加速電壓比透射電子顯微鏡的低。
 
  3、電磁透鏡
 
  掃描電子顯微鏡一般由三個(gè)聚光鏡,前兩個(gè)聚光鏡是強(qiáng)透鏡,用來(lái)縮小電子束光斑尺寸。第三個(gè)聚光鏡是弱透鏡,具有較長(zhǎng)的焦距,該透鏡下方放置祥品,為避免磁場(chǎng)對(duì)二次電子軌跡的干擾,該透鏡采用上下極靴不同且孔徑不對(duì)稱(chēng)的特殊結(jié)構(gòu),減小了試樣表面的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
 
  4、掃描線圈
 
  掃描線圈是掃描電子顯微鏡的一個(gè)重要組件,它一般放在最后二透鏡之間,也有的放在末級(jí)透鏡的空間內(nèi),使電子束進(jìn)入末級(jí)透鏡強(qiáng)磁場(chǎng)區(qū)前就發(fā)生偏轉(zhuǎn),為保證方向一致的電子束都能通過(guò)末級(jí)透鏡的中心射到樣品表面;掃描電子顯微鏡采用雙偏轉(zhuǎn)掃描線圈。

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